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한국은 신기술개발해도 검증도 하지 못하고…대만은 정부가 헤아리는[반도체 패키지 혁명]

경기도 히라사와에 위치하는 반도체 후속 공정 기업 LB세미 콘의 파브 내부.박·헤리 기자

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#「길고 일본 제품을 계속 사용한 반도체 엔지니어가, 「가격이 조금 싸다」로부터와 리스크를 감수 해 한국의 소재를 사용합니까.한국제 소재가 어떻게든 반도체 부품표에 등록되어도, 검증이 충분하지 않다고 하는 이유로 무시되어 사장 되는 악순환이 반복해집니다」.최근 중앙 일보와 만난 한국의 소재 기업 임원의 호소다.

#6월말에 대만 경제부는 대만의 중소기업이 반도체 패키징 장비 13종을 국산화해 TSMC등에서 76대의 주문을 확보했다고 분명히 했다.대만의 반도체 대기업 TSMC나 UMC에 어떠한 패키징 장비가 필요한가를 중소기업에 가르쳐 개발한 장비를 TSMC의 검증을 받게 되도록(듯이) 정부 보조금으로 지원한 연구 개발 사업의 성과다.

한국의 반도체 소재·부품·장비 업계는 삼중고에 놓여져 있다.인공지능(AI) 반도체의 열쇠이며 차세대 고부가 가치 산업이라고 하는 첨단 패키징 소재·부품·장비를 개발하고 싶어도 「고객이 무엇이 필요한가 알지 않고, 만들어도 이것이 올바른 것인지 알지 않고, 검증되지 않기 때문에 아무도 사지 않는다」안타까운 경우다.한국의 반도체 생태계가 첨단 패키징의 절벽의 앞에 선 이유다.

AI서버 반도체용 플립 팁(FC)이나 광대역 메모리(HBM)에 사용되는 실리콘 관통 전극(TSV)과 같은 첨단 패키징은 반도체의 핵심 재료인 원형의 실리콘 원판의 웨퍼 단계에서 적용되는 기술이다.그런데 한국의 소재·부품·장비 업계에서는 「우리는 웨퍼를 보는 것도 할 수 없는데 어떻게 미래 기술을 개발하는 것인가」라고 하는 한탄이 나와 있다.첨단 반도체용 12 인치 웨퍼의 가격이 오르고 있을 뿐만 아니라, 대량 구입하는 메이커 이외에는 웨퍼를 확보하기 어렵기 때문이다.반도체 대기업의 전 임원은 「웨퍼 지급은 회사의 이익과 직결한 문제.중소기업에 1년에 12회 시험용 웨퍼에서도 제공해서는 안되는 것인지라고 하는 소리가 대기업 내부에도 있다」라고 이야기했다.

한국의 소재·부품·장비가 어떻게든 신기술을 개발해도, 이것이 반도체 생산 공정에 적합하는지 확인할 방법이 없다.고가의 반도체 생산 라인에 중소기업의 신제품을 기분 좋게 적용해 주는 메이커가 없기 때문이다.이시바시도 수천회 두드리는 반도체 업계에서, 검증되어 있지 않은 신소재나 장비를 구입하는 곳을 찾는 것은 게다가 큰 일이다.

대만은 이러한 한계를 보완하기 위해서 반도체 이기종 통합 패키징 장비 검증 제도를 운영하고 있다.중소기업이 개발한 소재·부품·장비의 신제품이 TSMC, ASE, UMC등의 반도체 제조·후속 공정 대기업의 공장에서 품질 검증을 받게 되도록(듯이) 정부의 보조금으로 지원한다.연구 개발을 향한 연구 개발이 아니고, 시장 상용화를 향한 정책이다.대만 경제부는 「장비를 검증하는 자본 부담과 개발 리스크를 줄여 산업 경쟁력을 높여 국제 시장 진출의 기회를 확대하기 위해」라고 정책 목표를 분명히 했다.100의 말보다 「TSMC 인증」의 기록으로 수출의 길이 열리기 (위해)때문이다.

중국은 이제(벌써) 한 걸음 내디뎠다.중국은 강소성 이시의 국가 반도체 혁신 센터를 2020년부터 2.5 차원과 3 차원 패키징, 웨퍼 레벨 팬 아웃 패키징, 대형 FCBGA와 같은 첨단 패키징 전용 연구 개발 센터로서 운영하지만, 여기는 최신 12 인치 웨퍼 테스트 플랫폼을 갖춘다.중국은 중소기업이 개발한 신소재를 생산 과정에 처음으로 적용하는 기업이 지는 손실에 대비해 관련 보험료를 정부가 낸다.국산 소재 육성 과정의 리스크를 반도체 메이커는 아니고 나라가 부담한다.한국 대외 경제정책 연구원의 이·슨신 세계 지역 연구 제 1 센터장은 「중국의 강소기업 육성을 향해서 국산화 소재를 처음으로 사용하는 기업의 부담을 완화하는 제도」라고 이야기했다.

상교도리상자원부는 6월에, 7년간에 총액 2744억원을 투자해 반도체 첨단 패키징 대규모 연구 개발 지원에 착수한다고 발표했다.한국의 소재·부품·장비 기업의 연구 개발을 지원해 차세대 패키징 핵심 기술을 선취해 기술 리더쉽을 확보한다고 하는 취지다.그런데 5568억원 규모로 신청한 이 사업의 예산은 예비 타당성 조사에서 반에 깎아졌다.

중앙 일보가 입수한 한국 과학기술 기획 평가원(KISTEP)의 예비 타당성 보고서에 의하면, 예산 삭감 이유의 하나는 「개발한 기술의 사업화와 양산까지 진행되지 않으면 안 되는데, 한국에는 반도체 패키징 기술을 검증하는 인프라가 없다」라고 하는 것이었다.한국에는 과학기술 정보 통신부 산하의 나노 종합 기술원이 2022년에 12 인치 웨퍼 테스트 플랫폼을 운영하기 시작했지만, 아직 전 공정이 중심이다.상교도리상자원부는 지적 사항과 업계의 의견을 반영해, 삼성 전자와 SK하이 닉스의 협력을 받아 소재·부품·장비 기업이 개발한 패키징 기술을 검증할 수 있는 내용의 보완책을 더한 세부 사업을 근처 공고 할 예정이다.

 


検証もせずに新技術開発したと発表の韓国、誰も信用せず

韓国は新技術開発しても検証もできず…台湾は政府が推す[半導体パッケージ革命]

京畿道平沢に位置する半導体後工程企業LBセミコンのファブ内部。パク・ヘリ記者

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#「長く日本製品を使い続けた半導体エンジニアが、『価格が少し安い』からとリスクを甘受して韓国の素材を使いますか。韓国製素材がどうにか半導体部品表に登録されても、検証が十分でないという理由で無視され死蔵される悪循環が繰り返されます」。最近中央日報と会った韓国の素材企業役員の訴えだ。

#6月末に台湾経済部は台湾の中小企業が半導体パッケージング装備13種を国産化しTSMCなどから76台の注文を確保したと明らかにした。台湾の半導体大企業TSMCやUMCにどのようなパッケージング装備が必要なのかを中小企業に教え、開発した装備をTSMCの検証を受けられるよう政府補助金で支援した研究開発事業の成果だ。

韓国の半導体素材・部品・装備業界は三重苦に置かれている。人工知能(AI)半導体のカギであり次世代高付加価値産業という先端パッケージング素材・部品・装備を開発したくても「顧客が何が必要かわからず、作ってもこれが正しいのかわからず、検証されないためだれも買わない」もどかしい境遇だ。韓国の半導体生態系が先端パッケージングの絶壁の前に立った理由だ。

AIサーバー半導体用フリップチップ(FC)や広帯域メモリー(HBM)に使われるシリコン貫通電極(TSV)のような先端パッケージングは半導体の核心材料である円形のシリコン原板のウエハー段階で適用される技術だ。ところが韓国の素材・部品・装備業界では「われわれはウエハーを見ることもできないのにどのように未来技術を開発するのか」という嘆きが出ている。先端半導体用12インチウエハーの価格が上がっている上に、大量購入するメーカー以外にはウエハーを確保しにくいからだ。半導体大企業の元役員は「ウエハー支給は会社の利益と直結した問題。中小企業に1年に1~2回試験用ウエハーでも提供すべきではないのかという声が大企業内部にもある」と話した。

韓国の素材・部品・装備がどうにか新技術を開発しても、これが半導体生産工程に適合するか確認する方法がない。高価な半導体生産ラインに中小企業の新製品を快く適用してくれるメーカーがないからだ。石橋も数千回叩く半導体業界で、検証されていない新素材や装備を購入する所を探すのはさらに大変だ。

台湾はこうした限界を補完するために半導体異機種統合パッケージング装備検証制度を運営している。中小企業が開発した素材・部品・装備の新製品がTSMC、ASE、UMCなどの半導体製造・後工程大企業の工場で品質検証を受けられるように政府の補助金で支援する。研究開発に向けた研究開発でなく、市場商用化に向けた政策だ。台湾経済部は「装備を検証する資本負担と開発リスクを減らして産業競争力を高め、国際市場進出の機会を拡大するため」と政策目標を明らかにした。100の言葉より「TSMC認証」の記録で輸出の道が開かれるためだ。

中国はもう一歩踏み出した。中国は江蘇省無錫の国家半導体革新センターを2020年から2.5次元と3次元パッケージング、ウエハーレベルファンアウトパッケージング、大型FCBGAのような先端パッケージング専用研究開発センターとして運営するが、ここは最新12インチウエハーテストプラットフォームを備える。中国は中小企業が開発した新素材を生産過程に初めて適用する企業が負う損失に備えて関連保険料を政府が出す。国産素材育成過程のリスクを半導体メーカーではなく国が負担するのだ。韓国対外経済政策研究院のイ・スンシン世界地域研究第1センター長は「中国の強小企業育成に向け、国産化素材を初めて使う企業の負担を緩和する制度」と話した。

産業通商資源部は6月に、7年間に総額2744億ウォンを投じて半導体先端パッケージング大規模研究開発支援に着手すると発表した。韓国の素材・部品・装備企業の研究開発を支援し次世代パッケージング核心技術を先取りして技術リーダーシップを確保するという趣旨だ。ところが5568億ウォン規模で申請したこの事業の予算は予備妥当性調査で半分に削られた。

中央日報が入手した韓国科学技術企画評価院(KISTEP)の予備妥当性報告書によると、予算削減理由のひとつは「開発した技術の事業化と量産まで進まなくてはならないのに、韓国には半導体パッケージング技術を検証するインフラがない」ということだった。韓国には科学技術情報通信部傘下のナノ総合技術院が2022年に12インチウエハーテストプラットフォームを運営し始めたが、まだ前工程が中心だ。産業通商資源部は指摘事項と業界の意見を反映し、サムスン電子とSKハイニックスの協力を受けて素材・部品・装備企業が開発したパッケージング技術を検証できる内容の補完策を加えた細部事業を近く公告する予定だ。



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