삼성전자는 반도체 공정 라인 생산을 위해 국내 국내 기업이 개발한 EUV 포토레지스트(EUV PR)를 활용했습니다.
일본이 EUV 포토레지스트 수출을 제한하자 한국의 동진쎄미켐이 EUV 포토레지스트 개발에 착수한 것으로 알려졌습니다. 그리고 지난해 삼성전자의 신뢰성 인증을 통과해 1년도 안 돼 생산라인에 적용했습니다.
三星, 国産 EUV フォトレジスト初採択
三星電子は半導体公正ライン生産のために国内国内企業が開発した EUV フォトレジスト(EUV PR)を活用しました.
日本が EUV フォトレジスト輸出を制限すると韓国のドングジンセミケムが EUV フォトレジスト開発に取り掛かったことと知られました. そして去年三星電子の信頼性認証をパスして 1年もならなく生産ラインに適用しました.