サムスン電子と子会社が開発した「国家核心技術」である半導体洗浄装備を中国企業に輸出した一味が裁判にかけられる。容疑者らは「独自開発したもの」としながら容疑を否認したが、検察が新たに開発したデータ解析技法で技術原本の痕跡である「デジタル指紋」を確認して犯行のすべてが明らかになった。
水原（スウォン）地検防衛事業・産業技術犯罪捜査部は１９日、産業技術保護法違反と不正競争防止および営業秘密保護に関する法律（営業秘密国外漏洩など）違反の容疑で中国最大の半導体装備メーカーの系列韓国企業Ａ社の運営者と設計チーム長の２人を拘束したと明らかにした。彼らとともに犯行に及んだＡ社など法人３社と社員９人も同容疑で在宅起訴した。
サムスン電子の洗浄工程エンジニア出身であるＡ社運営者らは２０２１年１０月から昨年４月までサムスン電子子会社で韓国最大の半導体装備メーカーＭ社の退職者から洗浄装備チャンバー部（装備内に構成された洗浄作業が実際に行われる部分）の図面を確保した後、これを盗用して輸出用洗浄装備を製作した容疑を受けている。Ｍ社の洗浄装備移送ロボット図面を盗用して新たな輸出用ロボットを設計・製作したり、サムスン電子の洗浄工程レシピ（装備駆動細部手続きと方法を整理した文書）を活用して新たなレシピを作成した容疑も受けている。
運営者らが持ち出そうとした技術は半導体製造工程で発生する異物を除去して不良率を低くする技術だ。半導体はウエハーという原板の上にレーザー、化学薬品などを利用して回路を刻みつけたり削ったりする作業を繰り返すが、その過程で髪の毛の１万分の１の太さの異物が発生する。異物がしっかりと除去されなければ不良品になる可能性が大きくなる。
サムスン電子は子会社のＭ社とともに３０年以上の研究開発を通じて洗浄技術を完成した。この技術は産業通商資源部から「国家核心技術」「先端技術（技術集約度が高く技術革新速度が速い技術）」に指定された。
検察の調査の結果、運営者は２０１８年から高年俸を提示してサムスン電子出身者ら韓国の半導体製作専門家らを迎え入れて洗浄装備関連企業を設立した。２０２１年１１月に中国最大の半導体装備企業から直接投資を受けることにし、自身が設立した企業の人材と技術を中国企業の韓国法人であるＡ社に７８億２０００万ウォンで譲渡した。その後中国企業向けの洗浄装備を開発する契約を結び韓国の半導体企業などの技術資料を違法に収集して洗浄装備開発を主導したことが確認された。
これまで技術流出はほとんどが外国企業が高額年俸を掲げてエンジニアをスカウトする方式だった。しかし彼らは韓国の専門家らが子どもの教育問題などで外国生活を敬遠する点などを狙い、京畿道平沢市（キョンギド・ピョンテクシ）に技術流出拠点企業となるＡ社を設立し運営していたことがわかった。
彼らは捜査に備えて仮名を使い、会社も看板を出さずに運営した。コピーした技術資料は徹底して削除し、輸出試作品を偶然に目撃した同じ業界の関係者が通報しようとしているといううわさから携帯電話を団体で買い換えたりもしたという。
Ａ社は盗用した技術で実際に洗浄装備の試作品を製作して中国に輸出し、２台の量産装備を製作した。だが昨年１月に国家情報院産業機密保護センターから情報を受けて捜査に着手した検察が技術盗用の事実を確認して運営者らを拘束起訴し犯行が食い止められた。
検察はＡ社が中国本社から受領した開発資金約１００億ウォンを犯罪収益として差し押さえ、Ａ社の装備開発を中止させる一方、犯罪収益還収措置を取った。検察関係者は「彼らは容疑を否認しているが、会社の資料に残った過去の資料の痕跡であるデジタル指紋で技術盗用を確認した。今後も国家核心技術、先端技術を国外に流出させる反国家的犯罪には厳正対応する」と明らかにした。
삼성 전자와 자회사가 개발한 「국가 핵심 기술」인 반도체 세정 장비를 중국 기업에 수출한 한가닥을 재판에 회부할 수 있다.용의자등은 「독자 개발한 것」이라고 하면서 용의를 부인했지만, 검찰이 새롭게 개발한 데이터 해석 기법으로 기술 원본의 흔적인 「디지털 지문」을 확인해 범행의 모든 것이 밝혀졌다.
수원(수원) 지검 방위 사업·산업기술 범죄 수사부는 19일, 산업기술 보호법 위반과 부정 경쟁 방지 및 영업 비밀 보호에 관한 법률(영업 비밀 국외 누설 등) 위반의 용의로 중국 최대의 반도체 장비 메이커의 계열 한국 기업 A사의 운영자와 설계 팀장의 2명을 구속했다고 분명히 했다.그들과 함께 범행에 이른 A사 등 법인 3사와 사원 9명이나 동용의로 재택 기소 했다.
삼성 전자의 세정 공정 엔지니어 출신인 A사운영자등은 2021년 10월부터 작년 4월까지 삼성 전자 자회사에서 한국 최대의 반도체 장비 메이커 M사의 퇴직자로부터 세정 장비 chamber부(장비내에 구성된 세정 작업이 실제로 행해지는 부분)의 도면을 확보한 후, 이것을 도용해 수출용 세정 장비를 제작한 용의를 받고 있다.M사의 세정 장비 이송 로봇 도면을 도용해 새로운 수출용 로봇을 설계·제작하거나 삼성 전자의 세정 공정 레시피(장비 구동 세부 수속과 방법을 정리한 문서)를 활용해 새로운 레시피를 작성한 용의도 받고 있다.
운영자등이 꺼내려고 한 기술은 반도체 제조 공정으로 발생하는 이물을 제거해 불량율을 낮게 하는 기술이다.반도체는 웨퍼라고 하는 원판 위에 레이저, 화학 약품등을 이용하고 회로를 새겨 부록 깎거나 하는 작업을 반복하지만, 그 과정에서 머리카락의 1만 분의 1의 굵기의 이물이 발생한다.이물이 제대로 제거되지 않으면 불량품이 될 가능성이 커진다.
삼성 전자는 자회사의 M사와 함께 30년 이상의 연구 개발을 통해서 세정 기술을 완성했다.이 기술은 상교도리상자원부로부터 「국가 핵심 기술」 「첨단기술(기술 집약도가 비싸고 기술 혁신 속도가 빠른 기술)」로 지정되었다.
검찰의 조사의 결과, 운영자는 2018년부터 고령봉을 제시해 삼성 전자 출신자등 한국의 반도체 제작 전문가등을 맞아들여 세정 장비 관련 기업을 설립했다.2021년 11월에 중국 최대의 반도체 장비 기업으로부터 직접투자를 받기로 해, 자신이 설립한 기업의 인재와 기술을 중국 기업의 한국 법인인 A사에 78억 2000만원으로 양도했다.그 후 중국 기업용의 세정 장비를 개발하는 계약을 맺어 한국의 반도체 기업등의 기술 자료를 위법으로 수집해 세정 장비 개발을 주도했던 것이 확인되었다.
지금까지 기술 유출은 대부분이 외국 기업이 고액 연봉을 내걸어 엔지니어를 스카우트 하는 방식이었다.그러나 그들은 한국의 전문가등이 아이의 교육 문제등에서 외국 생활을 경원하는 점등을 노려, 경기도 평택시(콜기드·폴테크시)에 기술 유출 거점 기업이 되는 A사를 설립해 운영하고 있었던 것이 알았다.
그들은 수사에 대비하고 가명을 사용해, 회사도 간판을 내지 않고 운영했다.카피한 기술 자료는 철저하게 삭제해, 수출 시작품을 우연히 목격한 같은 업계의 관계자가 통보하려고 하고 있다고 하는 소문으로부터 휴대 전화를 단체에서 교체 충분해도 했다고 한다.
A사는 도용한 기술로 실제로 세정 장비의 시작품을 제작하고 중국에 수출해, 2대의 양산 장비를 제작했다.하지만 작년 1월에 국가 정보원 산업 기밀 보호 센터로부터 정보를 받아 수사에 착수한 검찰이 기술 도용의 사실을 확인해 운영자등을 구속 기소해 범행을 막을 수 있었다.
검찰은 A사가 중국 본사로부터 수령한 개발자금 약 100억원을 범죄 수익으로 해서 압류해 A사의 장비 개발을 중지시키는 한편, 범죄 수익환수 조치를 취했다.검찰 관계자는 「그들은 용의를 부인하고 있지만, 회사의 자료에 남은 과거의 자료의 흔적인 디지털 지문으로 기술 도용을 확인했다.향후도 국가 핵심 기술, 첨단기술을 국외에 유출시키는 반국가적 범죄에는 엄정 대응한다」라고 분명히 했다.