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 海外の反応 韓国



半導体素材のフッ化水素、最近日本依存度が30%以上減少
韓国素材メーカー、液体フッ化水素を安定的に供給フッ化水素ガスも量産
液体フッ化水素国産化100%気体は国産化が遅れ、年内にも続くだろう


日本政府が半導体·ディスプレーの主要素材3品目に対する韓国への輸出規制を実施してから1年が過ぎたが、当初の懸念とは異なり、生産に支障をきたすことはなかった。日本規制がかえって素材·部品·装備産業の自立化のきっかけになったという評価も出ている。特にフッ化水素は国産化が大きく進み、日本に対する輸入依存度が30%以上減少した。

韓国貿易協会によると、2020年1-5月時点でフッ化水素の日本への輸入の割合は、昨年同期比44%から12%に減った。輸入額基準では2843万ドルから403万ドルへと85.8%も激減した。

フッ化水素は半導体の製作工程に欠かせない素材だ。対日輸入依存度が減少したのは「供給先の多角化」と「国産化」のおかげだ。 輸出規制期間中、台湾産と中国産輸入の割合がそれぞれ17.8%と12.8%増え、日本産輸入の減少分を代替した。 国内企業各社が開発したフッ化水素の活用が拡大されたことも、日本への依存度を下げた。

ソルブレインは今年液体フッ化水素工場を早期完工しており、ラムテクノロジーは来年完工を目標に液体フッ化水素工場の増設を進めている。 ソルブレインとラムテクノロジーは昨年、サムスン電子とSKハイニックスにそれぞれフッ化水素を安定的に供給して注目を集めた。


SKグループの素材系列会社「SKマテリアルズ」は昨年末、超高純度フッ化水素ガスの試作品開発に成功した後、先月17日から超高純度(純度99.999%)フッ化水素(HF)ガスの量産に入った。 今回の量産を通じ、23年までにフッ化水素ガスの国産化率を70%水準に引き上げる計画だ。 ソルブレインは気体フッ化水素の開発を進めているという。

LGディスプレーは昨年10月、ディスプレー生産用の液体フッ化水素を全部国産製品に代替投入した。サムスン電子とSKハイニックスは、年内にSKマテリアルズが生産するフッ化水素に対するテストを終え、工程に投入する計画だ。

ただ液体より開発·製造が難しい気体フッ化水素は国産化があまり進んでいない。フッ化水素は半導体ウェハー(基板)の上に金·白金で刻まれた回路だけを残し、残りの物質を取り除く役割をする。半導体の微細工程の水準が上がるほど、液体よりは気体形態のフッ化水素がもっと多く使われる。

しかし、専門家らは、これも大きな問題にはならないと見ている。

韓国半導体ディスプレー技術学会長を務めるパク·ジェグン漢陽(ハンヤン)大学融合電子工学部教授は「液体フッ化水素液体は国産化が完了した」とし「ガス(気体フッ化水素)は現在評価中だが結果は良い。今年末中に気体フッ化水素の国産化が完了するだろう」と見通した。

アン·ジンホ漢陽(ハンヤン)大学新素材工学部教授も「液体フッ化水素は国産化が100%になったと見ていい」とし「気体フッ化水素国産化は年内に可能だと考える」と述べた。

それとともに「フッ化水素が技術的に難しいと言うよりは、作っても企業の利益が上がらないから開発されていない。 国内市場が大きくないため」とし「しかし需要企業が国産製品を積極的に買い入れると市場が大きくなり利益を生むことができる」と付け加えた。


초고순도 훅화 수소 가스 성공

 해외의 반응 한국



반도체 소재의 훅화 수소, 최근 일본 의존도가30%이상 감소
한국 소재 메이커, 액체 훅화 수소를 안정적으로 공급 훅화 수소 가스도 양산
액체 훅화 수소 국산화100% 기체는 국산화가 늦고 연내에도 계속 될 것이다


일본 정부가 반도체·디스플레이의 주요 소재 3품목에 대한 한국에의 수출규제를 실시하고 나서 1년이 지났지만, 당초의 염려와는 달라, 생산에 지장을 초래할 것은 없었다.일본 규제가 오히려 소재·부품·장비 산업의 자립화의 계기가 되었다고 하는 평가도 나와 있다.특히 훅화 수소는 국산화가 크게 진행되어, 일본에 대한 수입 의존도가30%이상 감소했다.

한국 무역협회에 의하면, 2020년1-5월 시점에서 훅화 수소의 일본에의 수입의 비율은, 작년 동기비44%에서12%로 감소했다.수입액 기준에서는 2843만 달러에서 403만 달러로 85.8%나 격감했다.

훅화 수소는 반도체의 제작 공정에 빠뜨릴 수 없는 소재다.대일 수입 의존도가 감소한 것은 「공급처의 다각화」와「국산화」의 덕분이다. 수출규제 기간중, 대만산과 중국산 수입의 비율이 각각 17.8%과 12.8%증가해 일본산 수입의 감소분을 대체했다. 국내 기업 각사가 개발한 훅화 수소의 활용이 확대된 것도, 일본에의 의존도를 내렸다.

솔 브레인은 금년 액체 훅화 수소 공장을 조기 완공 있어, 램 테크놀로지는 내년 완공을 목표로 액체 훅화 수소 공장의 증설을 진행시키고 있다. 솔 브레인과 램 테크놀로지는 작년, 삼성 전자와 SK하이 닉스에 각각 훅화 수소를 안정적으로 공급해 주목을 끌었다.


SK그룹의 소재 계열회사 「SK마테리아르즈」는 작년말, 초고순도 훅화 수소 가스의 시작품 개발에 성공한 후, 지난 달 17일부터초고순도(순도 99.999%) 훅화 수소(HF) 가스의 양산에 들어갔다. 이번 양산을 통해서 23년까지 훅화 수소 가스의 국산화율을70% 수준으로 끌어올릴 계획이다. 솔 브레인은 기체 훅화 수소의 개발을 진행시키고 있다고 한다.

LG디스플레이는 작년 10월, 디스플레이 생산용의 액체 훅화 수소를 전부 국산 제품에 대체 투입했다.삼성 전자와 SK하이 닉스는, 연내에 SK마테리아르즈가 생산하는 훅화 수소에 대한 테스트를 끝내 공정에 투입할 계획이다.

단지 액체보다 개발·제조가 어려운 기체 훅화 수소는 국산화가 별로 진행되지 않았다.훅화 수소는 반도체 wafer(기판) 위에 금·백금으로 새겨진 회로만을 남겨, 나머지의 물질을 없애는 역할을 한다.반도체의 미세 공정의 수준이 오르는 만큼, 액체보다는 기체 형태의 훅화 수소가 더 많이 사용된다.

그러나, 전문가등은, 이것도 큰 문제는 되지 않는다고 보고 있다.

한국 반도체 디스플레이 기술 학회장을 맡는 박·제군 한양(한 얀) 대학 융합 전자 공학부 교수는「액체 훅화 수소 액체는 국산화가 완료했다」로 해 「가스(기체 훅화 수소)는 현재 평가중이지만 결과는 좋다.금년말중에 기체 훅화 수소의 국산화가 완료할 것이다」라고 간파했다.

안·진호 한양(한 얀) 대학 신소재 공학부 교수도 「액체 훅화 수소는 국산화가100%가 되었다고 봐도 좋다」라고 해 「기체 훅화 수소 국산화는 연내에 가능하다고 생각한다」라고 말했다.

그것과 함께 「훅화 수소가 기술적으로 어렵다고 하는 것보다는, 만들어도 기업의 이익이 오르지 않기 때문에 개발되어 있지 않다. 국내 시장이 크지 않기 때문에」라고 해 「그러나 수요 기업이 국산 제품을 적극적으로 매입하면 시장이 커져 이익을 낳을 수 있다」라고 덧붙였다.



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