韓国製フッ化水素、低品質だった！ 不純物は日本製の100万倍！ 話にならないな…
SKマテリアルズ、半導体向けフッ化水素を量産
日本の対韓輸出管理強化に対応
2020/6/17 15:00【ソウル】韓国のSKマテリアルズは17日、半導体の生産工程で使うフッ化水素ガスの量産を始めたと発表した。一定水準の高純度を実現し、サムスン電子やSKハイニックスが導入するという。日本が対韓輸出管理を厳格化した半導体関連材料で韓国勢の国産化が進んでいる。
韓国東部の栄州（ヨンジュ）市の工場で量産を開始した。SKマテリアルズによると、量産を実現したフッ化水素ガスの純度は99.999%で「ファイブナイン」と呼ぶ純度。日本の素材メーカーが輸出してきた9が11個並ぶ超高純度の「イレブンナイン」と比べて品質は劣るものの、半導体ウエハーの洗浄など生産工程の一部で導入が始まったとしている。
SKマテリアルズは日本の対韓輸出管理の厳格化を受けて2019年11月に関連素材の開発センターを開設。SKハイニックスがつくったファンド資金も活用しながら、フッ化水素の量産化に向けた研究開発を続けてきた。年間15トン規模の生産設備を稼働させて、23年には韓国内での半導体生産に使用するフッ化水素の国産化比率を70%にまで高める目標を持つ。
日本政府は19年7月に対韓輸出管理の厳格化を打ち出し、半導体関連材料の輸出を事実上規制した。韓国企業側は代替調達先を模索し、韓国の素材メーカーは政府支援を受けて関連素材の国産化を急いできた。ソウルブレーンは純度「99.999%以上」（同社）の液体フッ化水素の量産を始めている。
한국제 훅화 수소, 저품질이었다! 불순물은 일본제의 100만배! 이야기가 되지 않는데…
SK마테리아르즈, 반도체를 위한 훅화 수소를 양산
일본의 대한수출 관리 강화에 대응
2020/6/17 15:00【서울】한국의 SK마테리아르즈는 17일, 반도체의 생산 공정으로 사용하는 훅화 수소 가스의 양산을 시작했다고 발표했다.일정 수준의 고순도를 실현해, 삼성 전자나 SK하이 닉스가 도입한다고 한다.일본이 대한수출 관리를 엄격화한 반도체 관련 재료로 한국세의 국산화가 진행되고 있다.
한국 동부의 영주(욘쥬) 시의 공장에서 양산을 개시했다.SK마테리아르즈에 의하면,양산을 실현한 훅화 수소 가스의 순도는 99.999%로 「파이브나인」이라고 부르는 순도.일본의 소재 메이커가 수출해 온 9가 11개 줄선 초고순도의 「일레븐 나인」이라고 비교하고 품질은 뒤떨어지지만, 반도체 웨퍼의 세정 등 생산 공정의 일부에서 도입이 시작되었다고 하고 있다.
SK마테리아르즈는 일본의 대한수출 관리의 엄격화를 받아 2019년 11월에 관련 소재의 개발 센터를 개설.SK하이 닉스가 만든 펀드 자금도 활용하면서, 훅화 수소의 양산화를 향한 연구 개발을 계속해 왔다.연간 15톤 규모의 생산 설비를 가동시키고, 23년에는 한국내에서의 반도체 생산에 사용하는 훅화 수소의 국산화 비율을70%에까지 높이는 목표를 가진다.
일본 정부는 19년 7월에 대한수출 관리의 엄격화를 밝혀, 반도체 관련 재료의 수출을 사실상 규제했다.한국 기업측은 대체 조달처를 모색해, 한국의 소재 메이커는 정부 지원을 받아 관련 소재의 국산화를 서둘러 왔다.서울 브레인은 순도 「99.999%이상」(동사)의 액체 훅화 수소의 양산을 시작하고 있다.