글로벌 과학 소재 기업 듀퐁이 반도체의 핵심 소재 「극단 자외선(EUV) 용 포토레지스트(photoresist)」의 생산 공장을 한국에 건설한다.EUV용 포토레지스트(photoresist)는, 일본이 작년 한국에의 수출을 통제한 3대품목의 하나.빠르면 내년부터 국내에서의 조달이 가능하게 될 전망이다.일본에의 의존도가 높은 소재·부품·장비의 조달의 다각화에 한 걸음 가까워졌다고 하는 평가가 나와 있다.

◆328억원 투자 신고서를 KOTRA에 제출

상교도리상자원부에 의하면, 듀퐁은 EUV용 포토레지스트(photoresist) 생산 공장을 국내에 구축하기 위해(때문에) 대한 무역 투자 진흥 공사(KOTRA)에 투자 신고서를 제출했다.8일(이하, 현지시간)에 시게코토모(손·윤모) 산업 부장관이 미국에서 듀퐁의 존·견포 사장을 만난 자리에서다.투자 규모는 2021년까지 합계 2800만 달러( 약 328억원, 약 30억엔).생산 공장은 천안에 건설될 예정이다.

EUV 포토레지스트(photoresist)는 반도체초미세 공정에 사용되는 핵심 소재.반도체 기판(wafer) 위에 패턴을 형성하는 공정에 사용되는 재료로, 파장이 짧게 미세화 공정에 적절하고 있다.JSR, 신에츠 화학공업, 토쿄 오카 공업(TOK) 등 일본 기업이 세계 시장의 90%이상을 차지하고 있다.이 때문에 일본에 대한 의존도가 높았다.

국내에서도 훅화크리프톤(KrF), 훅화 아르곤(ArF) 등 다른 포토레지스트(photoresist)는 일부 생산이 가능하다.그러나 파장이 각각 248나노미터(nm), 198 nm와 길고, EUV용(13.5 nm)보다 미세 공정에 적절하지 않았다.정부는 작년 7월의 일본의 수출규제 이후, 반도체 소재·부품·장비의 공급을 안정화 시키기 위해 듀퐁과 접촉해 왔다고 분명히 했다.

◆소재·부품·장비의 국산화율 높이는…듀퐁은 신시장 개척

국내산업에는 플러스의 효과가 기대된다.산업 연구원의 김·얀 펜 전문위원은 「반도체 소재의 공급이 안정되어, 일본의 수출규제와 같은 상황에 대응할 수 있게 되었다」라고 해 「국내에서 조달하게 되면, 수입보다 비용의 면에서 유리하고, 현재 25-30%의 반도체 소재의 국산화율도 높일 수 있을 것이다」라고 설명했다.

듀퐁으로서는 한국의 소재·부품·장비 자립의 움직임을 찬스라고 봐, 새로운 시장에 참가하게 되었다.견포 사장은 투자 신고서를 제출하는 석으로 「향후, 한국 국내의 수요 기업과 제품 실증 테스트를 진행시키는 등, 긴밀히 협력해 나갈 계획」이라고 말했다.

산업부의 캔·캠 장 반도체 디스플레이 과장은 「최근 삼성 전자가 종래의 5 나노 반도체보다 미세한 3 나노 반도체 공정 기술을 확보하는 등, EUV 포토레지스트(photoresist)의 중요성이 높아지고 있다」라고 해 「삼성 전자, SK하이 닉스, 동부 하이테크 등 국내 기업이 수혜자가 된다고 보여진다」라고 이야기했다.

◆추가의 반도체 부품도 생산…국내산업의 강화에 기대

듀퐁은 반도체 wafer를 평탄화하는데 사용되는 CMP 패드도 생산할 예정이다.듀퐁은 CMP 분야에서 세계 시장쉐어 80%이상을 확보하고 있고, 수입 대체 뿐만이 아니라 CMP 생산에 사용되는 국내 원재료 산업도 강화할 수 있다고 하는 기대가 높아지고 있다.

정부는 이 외 미국의 투자가를 대상으로 한국 투자 유치 활동을 진행시키고 있다.시게코토모산업 부장관은 9일 오전, 미 실리콘밸리로 미국의 소재·부품·장비, 신산업, 벤처 캐피털 분야의 혁신 기업 10사를 초청 해 원탁 회의를 열어, 한국 투자 협력안에 대해 논의했다.램 리서치, 아프라이드벤챠즈(반도체 장비), 리테르휴즈(시스템 반도체), 에어 프로덕츠(products), 고어(수소 경제)등의 회사가 참가했다.

성장관은 「최근 일본 정부가 EUV용 포토레지스트(photoresist) 수출을(개별 허가로부터) 특정 포괄 허가로 전환했지만, 근본적인 해결안이라고는 보기 어렵다」라고 해 「정부는 소재·부품·장비 조달처 다각화를 계속해 추진해 간다」라고 강조했다.