という。

オーケストラのように進められる工程

99%以下純度フッ化水素は、ウランなど鉱物を抽出するのに使用される。99.9%以下の純度は石油化学製品を作る際に触媒に使われる。ファイブナイン(99.999%)以上になってこそ、半導体エッチング工程などに使うことができる。エッチング工程は、シリコン基板上に敷かれた酸化膜を版画の様に削り出す工程だ。

高純度フッ化水素の原料である無水フッ酸を製造する方法は二つだ。蛍石(fluorite)又はフッ化ケイ素酸(fluosilicicacid:FSA)を用いて製造するものである。

フッ化カルシウムで行われた蛍石に硫酸を混合して100度程度に加熱すると微量のフッ化水素と硫酸水素カルシウムが生成される。この時フッ化水素への転換率は約40%に過ぎない。この中間生成物を回転釜（ロータリーキルン）に入れて500度の高温で混ぜる石膏と硫酸に分解される。この時、出てきた硫酸は以降の過程で未反応の蛍石と再び反応して硫酸カルシウムとフッ化水素を出す。

比較的簡単な化学反応のようだが、そうではない。まず、反応物が有毒物の硫酸を含むとろりとした「ペースト」状態に引き続き現われるため、装置腐食の恐れが大きい。装備エネルギー効率も急激に低下しやすい。

つまり、ペースト制御が「製法を使うに値する」フッ化水素を生産するカギとなる。ペースト制御は特定の触媒にすることもでき、原料混入量又は反応器温度等工程条件を異なっても可能である。良い装備が必要なのは言うまでもない。
この過程で一つだけ外れてもフッ化水素の製造は不可能だ。

「技術を超えて、芸術だ」

このような通常の工程を超えるとフォーナイン（99.99％）の純度のフッ化水素が生成される。ソウルブレイン、ENFテクノロジー、ウォンイク、フォーサングなどの国内企業もこのレベルの技術は持っている。ここから極微量の不純物を取り除くことがカギだ。微量の不純物だけでも不良率が急騰する恐れがあるからである。

不良率が1％だけ上がっても年間数百～数千億ウォンの損失が出るというのが、半導体業界の通説だ。0.001％ほど含まれているヘキサフッ化ケイ素酸、0.003％含まれている二酸化硫黄、0.0005％の水分などを取り除けば現在汎用の半導体工程で使われる「ファイブナイン（99.999％）」の純度のフッ化水素を得ることができる。

ファイブナインからさらに、測定さえ難しい0.00001%以下、極微量の砒素、鉄などをなくせば、世界で日本(ステラケミファ等)だけが持っている「イレブン、またはのトゥエルブ・ナイン(99.999999999%)」純度のフッ化水素を精製出来る。10ナノメートル(㎚・1㎚=10億分の1m)以下の次世代半導体工程に使われる弗化水素だ。イレブンナインフッ化水素はC&B産業が2011年に特許を出したが、まだ実験室レベルに留まって商用化されなかった。

ベヨンチャン教授は「フッ化水素は事実多くの素材企業なら誰でも作れるが、カギは、純度」と「日本は素材分野で技術を越えて芸術に上がった境地と(文在寅政府が主張するように)素材関連の競争力が数年内に確保されることは難しい」と指摘した。イレブンナインのフッ化水素などは、数十年以上続く試行錯誤の末得られる「職人のノウハウ」という説明だ。

今回の講義で注目されたのは、蛍石ではなくFSA(フッ化ケイ素酸)を利用してフッ化水素を製造する代案技術だ。フッ化水素の原料である無水フッ酸の20％ほどが、この技術で製造されている。リン酸の製造過程で副産物であるFSAを削減しながら、低コストで無水フッ酸を生産し、環境汚染を低減できるという説明だ。米国のデュポンなどがこの技術を持っているが、まだ国内で試みた企業はない。

　韓国の反応　

見かけはたった半世紀の遅れかもしれないが、精神は千年単位で遅れているよね。そもそも約束も守れないなんて犬以下である。感情で法律さえも曲げてしまうのは、あまりにも愚か。

人類は既に紀元前から倫理学を獲得し、そういうことは愚かだと学んでいるのだ。しかし韓国人は未だに倫理を理解していないだけではなく、学ぶ気も発展させる気もない。

途方もなく遅れているということだ。