일본에 허를 찔려 1개월반, 「훅화 수소 독립」연말에도 목표인가

　일본 정부가 반도체·디스플레이의 중요 소재 3 종류에 대해서, 한국에 대한 수출규제를 발표하고 나서 약 50일이 지났다.집극단 자외선(EUV) 용 포토레지스트(photoresist)에 대해서는, 일본이 7일에 수출을 허가했지만, 남는훅화 수소, 훅화 폴리이미드에 대해서는 수출이 허가되었다는 정보는 없다.반도체 생산에 필수의 소재이며, 사용량이 많은 훅화 수소에 대한 염려는 강하다.일본이 7월 4일에 수출규제를 실시한 이후, 일본제의 훅화 수소는 1건이나 한국의 수입되어 있지 않은 상황이다.

　삼성 전자와 SK하이 닉스는 공급이 끊어진훅화 수소의 대체 공급을 확보하기 위해서 다양한 방책을 검토하고 있지만, 즉시 생산에 투입할 수 있을 단계는 아니다.반도체 업계 관계자는 「국내 메이커가 생산한 액체 훅화 수소를 테스트중이지만, 납품 가능한 양자체가 부족하고 있어, 훅화 수소의 공급난은 연말까지 계속 될 가능성이 있다」라고 말했다.현재 반도체 메이커가 보유하고 있는 훅화 수소의 재고량은 2개월 남짓의 분에 지나지 않는이라고 한다.일본이 훅화 수소의 수출을 계속 막으면 , 재고가 없어지는 10월 이후, 한국의 반도체 산업은 타격을 받을 지도 모르다.

■액체·기체 제품, 각각 공급 다각화

　반도체 생산에 사용되는 훅화 수소는 액체 제품과 기체 제품이라고 하는 2개의 형태가 있다.
액체 훅화 수소는 미세한 회로를 새기기 위한 에칭과 불순물을 제거하는 클리닝의 공정에 사용된다.기체 훅화 수소는 반도체 웨퍼에 얇은 막을 걸치는 박막 증착 공정에 사용한다.반도체의 공정 약 500중 10%에 상당하는 50남짓의 공정에 액체·기체 훅화 수소가 사용된다.기체보다 액체 훅화 수소의 사용량이 많다.

　삼성 전자와 SK하이 닉스는 액체 훅화 수소와 기체 훅화 수소의 대체 공급원을 모색하고 있다.액체 훅화 수소는 국내 메이커의 제품으로 대체할 수 있을 가능성이 높다.지금까지 한국의 반도체 메이커는 서울 브레인등을 통해서 액체 훅화 수소의 공급을 받아 왔다.서울 브레인은 중국제의 원재료(무수 불화수소산)를 정제 하는지, 일본의 스테라케미파, 모리타화학공업등에서 순도 99.999%이상의 고순도 훅화 수소를 수입해, 삼성 전자와 SK하이 닉스에 공급해 왔다.삼성 전자와 SK하이 닉스는 현재,서울 브레인이 독자적으로 생산한 액체 훅화 수소를 테스트하고 있다라고 한다.업계 관계자는 「다소 불량율이 높아진다고 해도, 당면은 거기에 참고 생산을 계속하지 않으면 안 되는 것이 아닌가」라고 이야기했다.

　기체 훅화 수소가 문제다.삼성 전자와 SK하이 닉스는 기체 훅화 수소를 일본의 쇼와전공으로부터 전량 수입해 왔다.기체 훅화 수소는 사용되는 양이야말로 적지만, 공정으로 적용이나 보관이 어렵다.현재는 미국의 특수 가스 메이커와 일본 메이커의 대만 법인등에서 공급을 받는 것이 가능할지, 샘플을 받아, 테스트를 진행시키고 있다.연내에 가동하는 모리타화학공업의 중국 공장으로부터 훅화 수소를 수입하는 일도 검토.동시에 국산화도 추진하고 있다.서울 브레인은 「수송과 보관 용기의 문제만 해결되면, 기체 훅화 수소의 공급도 가능하다」라고 지적했다.SK마테리아르즈도 연말까지 기체 훅화 수소의 시작품을 나타낼 방침을 분명히 했다.

■연말에는 해결의 실마리인가

　반도체 업계는 소재의 국산화와 공급 다각화를 추진하고 있지만, 일본제에 완전하게 대체 가능할지 확신 못하고 있다.반도체 업계는 당면, 9월 중순에 최초의 판단이 가능이라고 보고 있다.반도체 웨퍼가 공정에 들어가고 나서, 반도체의 최종 제품이 생기기까지는 50 일정도 걸린다.
삼성 전자와 SK하이 닉스는 7월 중순경에일본제 이외의 소재를 투입한 테스트를 개시했다.대체품을 투입해 생산한 시작품이 완성되는 것은 50일이 경과한 9월 중순경이 된다.

　업계 관계자는 「신제품이테스트에 합격해도, 즉시 모든 문제가 해결되는 것은 아니다」라고 말했다.대체품이 있다라고 해도,생산에 필요한 만큼의 물량을 확보한다고 되면 다른 이야기다.소재 메이커의 생산 능력이 한정되어 있기 (위해)때문이다.서울 브레인의 충청남도 공주 공장은 현재 풀 가동 상태다.일본에 의한 경제 보복 이후,한국 메이커로부터 공급을 늘리도록 요구를 받았지만, 제공할 수 없었다.설비를 증설했다고 해도 시간이 걸린다.서울 브레인은9월에 제2 공장이 완성해, 가동을 개시하지만, 제2 공장에서 생산되는 훅화 수소가 제1 공장과 같은 품질인지 어떤지, 반도체 생산에 적절하고 있을지 어떨지는 재차 테스트가 필요하다.

　연말까지 기체 훅화 수소의 시작품을 공급한다고 하고 있는 SK마테리아르즈도 같은 상황이다.시작품이 등장하면, 그것을 테스트하고 안정화를 도모해, 생산에 적용할 때까지 6개월 이상을 필요로 한다.반도체 업계 간부는 「결국적어도 연말이나 내년 상반기가 되지 않으면, 일본제 훅화 수소의 공급 지장 리스크로부터 탈각할 수 있을지 확인할 수 없다.일본제 훅화 수소의 공급 중단이 계속 되면, 한국의 반도체 메이커는 당분간 감산, 불량율의 상승등의 위기에 직면할 수도 있다」라고 말했다.

카네시로 사토시(김·성민) 기자

조선일보 일본어판 2019/08/31 06:01
http://www.chosunonline.com/m/svc/article.html?contid=2019083080072




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