フッ化水素の対韓輸出、日本政府が許可 サムスン注文分
8/30(金) 13:26配信
韓国政府関係者は３０日、日本政府が７月に韓国向けの輸出手続きを厳格化した半導体関連３品目のうち、半導体洗浄に使う化学物質「フッ化水素」の輸出を許可したと明らかにした。規制強化後のフッ化水素の対韓輸出許可は初めて。
韓国の業界関係者によると、輸出が認められたのはサムスン電子の注文分。フッ化水素は半導体製造に欠かせず、世界全体に占める日本の生産シェアが高い。３品目のうち半導体基板に塗る感光材の「レジスト」の許可はすでに出ており、２品目の許可となる。
韓国政府関係者は「韓国は日本に輸出規制の無条件の撤回を要求しており、一喜一憂するような事案ではない」とする。韓国メディアは「日本が許可を出したのは、世界貿易機関（ＷＴＯ）に提訴された場合、韓国側が主張する『貿易報復論』を弱める措置だ」との専門家の見方を伝えた。日本の経済産業省は事実関係を明らかにしていない。（ソウル＝武田肇）
どっちなんだよｗ
日本に虚を突かれて1カ月半、「フッ化水素独立」年末にもめどか
2019/08/31 06:01
日本政府が半導体・ディスプレーの重要素材3種類について、韓国に対する輸出規制を発表してから約50日が過ぎた。うち極端紫外線（EUV）用フォトレジストについては、日本が7日に輸出を許可したが、残るフッ化水素、フッ化ポリイミドについては輸出が許可されたとの情報はない。
半導体生産に必須の素材であり、使用量が多いフッ化水素に対する懸念は強い。日本が7月4日に輸出規制を実施して以降、日本製のフッ化水素は1件も韓国の輸入されていない状況だ。
サムスン電子とSKハイニックスは供給が途絶えたフッ化水素の代替供給を確保するためにさまざまな方策を検討しているが、直ちに生産に投入できる段階ではない。半導体業界関係者は「国内メーカーが生産した液体フッ化水素をテスト中だが、納品可能な量自体が不足しており、フッ化水素の供給難は年末まで続く可能性がある」と述べた。
現在半導体メーカーが保有しているフッ化水素の在庫量は2カ月余りの分にすぎないという。日本がフッ化水素の輸出を阻み続ければ、在庫がなくなる10月以降、韓国の半導体産業は打撃を受けかねない。
■液体・気体製品、それぞれ供給多角化
半導体生産に使われるフッ化水素は液体製品と気体製品という2つの形態がある。液体フッ化水素は微細な回路を刻むためのエッチングと不純物を除去するクリーニングの工程に使われる。気体フッ化水素は半導体ウエハーに薄い膜をかける薄膜蒸着工程に使用する。半導体の工程約500のうち10％に相当する50余りの工程に液体・気体フッ化水素が使われる。気体よりも液体フッ化水素の使用量の方が多い。
サムスン電子とSKハイニックスは液体フッ化水素と気体フッ化水素の代替供給元を模索している。液体フッ化水素は国内メーカーの製品で代替できる可能性が高い。
これまで韓国の半導体メーカーはソウルブレーンなどを通じ、液体フッ化水素の供給を受けてきた。ソウルブレーンは中国製の原材料（無水フッ酸）を精製するか、日本のステラケミファ、森田化学工業などから純度99.999％以上の高純度フッ化水素を輸入し、サムスン電子とSKハイニックスに供給してきた。
サムスン電子とSKハイニックスは現在、ソウルブレーンが独自に生産した液体フッ化水素をテストしているという。業界関係者は「多少不良率が高まるとしても、当面はそれに耐え、生産を続けなければならないのではないか」と話した。
気体フッ化水素が問題だ。サムスン電子とSKハイニックスは気体フッ化水素を日本の昭和電工から全量輸入してきた。気体フッ化水素は使われる量こそ少ないが、工程へと適用や保管が難しい。現在は米国の特殊ガスメーカーと日本メーカーの台湾法人などから供給を受けることが可能かどうか、サンプルを受け取り、テストを進めている。■年末には解決の糸口か
半導体業界は素材の国産化と供給多角化を推進しているが、日本製に完全に代替可能かどうか確信できずにいる。半導体業界は当面、9月中旬に最初の判断が可能とみている。半導体ウエハーが工程に入ってから、半導体の最終製品ができるまでには50日程度かかる。
サムスン電子とSKハイニックスは7月中旬ごろに日本製以外の素材を投入したテストを開始した。代替品を投入して生産した試作品が出来上がるのは50日が経過した9月中旬ごろになる。業界関係者は「新製品がテストに合格しても、直ちに全ての問題が解決されるわけではない」と述べた。代替品があるといっても、生産に必要なだけの物量を確保するとなれば別の話だ。素材メーカーの生産能力が限られているためだ。
ソウルブレーンの忠清南道公州工場は現在フル稼働状態だ。日本による経済報復以降、韓国メーカーから供給を増やすよう要求を受けたが、提供できなかった。設備を増設したとしても時間がかかる。ソウルブレーンは9月に第2工場が完成し、稼働を開始するが、第2工場で生産されるフッ化水素が第1工場と同じ品質かどうか、半導体生産に適しているかどうかは再度テストが必要となる。
年末までに気体フッ化水素の試作品を供給するとしているSKマテリアルズも同様の状況だ。試作品が登場すれば、それをテストして安定化を図り、生産に適用するまで6カ月以上を要する。半導体業界幹部は「結局少なくとも年末か来年上半期にならなければ、日本製フッ化水素の供給支障リスクから脱却できるかどうか確認できない。日本製フッ化水素の供給中断が続けば、韓国の半導体メーカーはしばらく減産、不良率の上昇などの危機に直面しかねない」と述べた。
金城敏（キム・ソンミン）記者
朝鮮日報／朝鮮日報日本語版
どっちなの？
훅화 수소의 대한수출, 일본 정부가 허가 삼성 주문분
8/30(금) 13:26전달
한국 정부 관계자는 30일, 일본 정부가 7월에 한국용의 수출 수속을 엄격화한 반도체 관련 3품목 가운데, 반도체 세정에 사용하는 화학물질 「훅화 수소」의 수출을 허가했다고 분명히 했다.규제 강화 후의 훅화 수소의 대한수출 허가는 처음.
한국의 업계 관계자에 의하면, 수출이 인정된 것은 삼성 전자의 주문분.훅화 수소는 반도체 제조에 빠뜨리지 못하고, 세계 전체에 차지하는 일본의 생산 쉐어가 비싸다.3품목 중 반도체 기판에 바르는 감광재의 「레지스터」의 허가는 벌써 나오고 있어 2품목의 허가가 된다.
한국 정부 관계자는 「한국은 일본에 수출규제의 무조건의 철회를 요구하고 있어, 일희일우 하는 사안은 아니다」라고 한다.한국 미디어는 「일본이 허가를 낸 것은, 세계무역기구(WTO)에 제소되었을 경우, 한국측이 주장하는 「무역 보복론」을 약하게 하는 조치다」라는 전문가의 견해를 전했다.일본의 경제 산업성은 사실 관계를 분명히 하지 않았다.(서울=타케다 하지메)
어느 쪽이야 w
일본에 허를 찔려 1개월반, 「훅화 수소 독립」연말에도 목표인가
2019/08/31 06:01
일본 정부가 반도체·디스플레이의 중요 소재 3 종류에 대해서, 한국에 대한 수출규제를 발표하고 나서 약 50일이 지났다.집극단 자외선(EUV) 용 포토레지스트(photoresist)에 대해서는, 일본이 7일에 수출을 허가했지만,
반도체 생산에 필수의 소재이며, 사용량이 많은 훅화 수소에 대한 염려는 강하다.일본이 7월 4일에 수출규제를 실시한 이후, 일본제의 훅화 수소는 1건이나 한국의 수입되어 있지 않은 상황이다.
삼성 전자와 SK하이 닉스는 공급이 끊어진 훅화 수소의 대체 공급을 확보하기 위해서 다양한 방책을 검토하고 있지만, 즉시 생산에 투입할 수 있을 단계는 아니다.반도체 업계 관계자는 「국내 메이커가 생산한 액체 훅화 수소를 테스트중이지만, 납품 가능한 양자체가 부족하고 있어, 훅화 수소의 공급난은 연말까지 계속 될 가능성이 있다」라고 말했다.
현재 반도체 메이커가 보유하고 있는 훅화 수소의 재고량은 2개월 남짓의 분에 지나지 않는다고 한다.일본이 훅화 수소의 수출을 계속 막으면 , 재고가 없어지는 10월 이후, 한국의 반도체 산업은 타격을 받을 지도 모르다.
■액체·기체 제품, 각각 공급 다각화
반도체 생산에 사용되는 훅화 수소는 액체 제품과 기체 제품이라고 하는 2개의 형태가 있다.액체 훅화 수소는 미세한 회로를 새기기 위해？`후엣팅과 불순물을 제거하는 클리닝의 공정에 사용된다.기체 훅화 수소는 반도체 웨퍼에 얇은 막을 걸치는 박막 증착 공정에 사용한다.반도체의 공정 약 500중 10%에 상당하는 50남짓의 공정에 액체·기체 훅화 수소가 사용된다.기체보다 액체 훅화 수소의 사용량이 많다.
삼성 전자와 SK하이 닉스는 액체 훅화 수소와 기체 훅화 수소의 대체 공급원을 모색하고 있다.액체 훅화 수소는 국내 메이커의 제품으로 대체할 수 있을 가능성이 높다.
지금까지 한국의 반도체 메이커는 서울 브레인등을 통해서 액체 훅화 수소의 공급을 받아 왔다.서울 브레인은 중국제의 원재료(무수 불화수소산)를 정제 하는지, 일본의 스테라케미파, 모리타화학공업등에서 순도 99.999%이상의 고순도 훅화 수소를 수입해, 삼성 전자와 SK하이 닉스에 공급해 왔다.
삼성 전자와 SK하이 닉스는 현재, 서울 브레인이 독자적으로 생산한 액체 훅화 수소를 테스트하고 있다고 한다.업계 관계자는 「다소 불량율이 높아진다고 해도, 당면은 거기에 참고 생산을 계속하지 않으면 안 되는 것이 아닌가」라고 이야기했다.
기체 훅화 수소가 문제다.삼성 전자와 SK하이 닉스는 기체 훅화 수소를 일본의 쇼와전공으로부터 전량 수입해 왔다.기체 훅화 수소는 사용되는 양이야말로 적지만, 공정으로 적용이나 보관이 어렵다.현재는 미국의 특수 가스 메이커와 일본 메이커의 대만 법인등에서 공급을 받는 것이 가능할지, 샘플을 받아, 테스트를 진행시키고 있다.■연말에는 해결의 실마리인가
반도체 업계는 소재의 국산화와 공급 다각화를 추진하고 있지만, 일본제에 완전하게 대체 가능할지 확신 못하고 있다.반도체 업계는 당면, 9월 중순에 최초의 판단이 가능이라고 보고 있다.반도체 웨퍼가 공정에 들어가고 나서, 반도체의 최종 제품이 생기기까지는 50 일정도 걸린다.
삼성 전자와 SK하이 닉스는 7월 중순경에 일본제 이외의 소재를 투입한 테스트를 개시했다.대체품을 투입해 생산한 시작품이 완성되는 것은 50일이 경과한 9월 중순경이 된다.업계 관계자는 「신제품이 테스트에 합격해도, 즉시 모든 문제가 해결되는 것은 아니다」라고 말했다.대체품이 있다라고 해도, 생산에 필요한 만큼의 물량을 확보한다고 되면 다른 이야기다.소재 메이커의 생산 능력이 한정되어 있기 (위해)때문이다.
서울 브레인의 충청남도 공주 공장은 현재 풀 가동 상태다.일본에 의한 경제 보복 이후, 한국 메이커로부터 공급을 늘리도록 요구를 받았지만, 제공할 수 없었다.설비를 증설했다고 해도 시간이 걸린다.서울 브레인은 9월에 제2 공장이 완성해, 가동을 개시하지만, 제2 공장에서 생산되는 훅화 수소가 제1 공장과 같은 품질인지 어떤지, 반도체 생산에 적절하고 있을지 어떨지는 재차 테스트가 필요하다.
연말까지 기체 훅화 수소의 시작품을 공급한다고 하고 있는 SK마테리아르즈도 같은 상황이다.시작품이 등장하면, 그것을 테스트하고 안정화를 도모해, 생산에 적용할 때까지 6개월 이상을 필요로 한다.반도체 업계 간부는 「결국 적어도 연말이나 내년 상반기가 되지 않으면, 일본제 훅화 수소의 공급 지장 리스크로부터 탈각할 수 있을지 확인할 수 없다.일본제 훅화 수소의 공급 중단이 계속 되면, 한국의 반도체 메이커는 당분간 감산/`A불량율의 상승등의 위기에 직면할 수도 있다」라고 말했다.
카네시로 사토시(김·성민) 기자
조선일보/조선일보 일본어판
어느 쪽이야?