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韓経:韓国企業「純度99.999%以上の気体フッ化水素供給可能」

    2019年08月09日11時01分
  中央日報

   
   

 
   
      「

相対的に難度が高いガス形態の高純度フッ化水素(エッチングガス)

国産化できる見通しだ」。


  ソルブレインのパク・ヨンス中央研究所長(副社長)は8日、「純度99.999%以上の高純度フッ化水素も供給可能」とし、このように述べた。


  パク副社長は「ガス運搬および保管に必要な容器を確保しなければいけないが、大きな問題はないとみている」と話した。日本が韓国への輸出を規制している高純度フッ化水素は、半導体工程で不純物を除去する洗浄作業と回路を残してそのほかの部分を削る食刻作業に広く使われる。


  ソルブレインはサムスン電子とSKハイニックスに「液体」形態の高純度フッ化水素を供給している。昨年は売上高9634億ウォン(約843億円)、営業利益1641億ウォンだった。売上高のおよそ半分は高純度フッ化水素を含む食刻液で生じる。液体形態の高純度フッ化水素は国産化がある程度進んでいるが、気体形態の製品は日本への依存度が高い。


  ソルブレインはその間、高純度フッ化水素を二元化して生産してきた。全体生産量の約70%は日本のステラケミファから高純度フッ化水素を輸入した後、添加剤などを混ぜてサムスン電子が希望する条件に合う製品を提供する。残りの30%程度は中国から原材料(無水フッ化水素)を輸入して純度を高める精製作業をして納品する。


  ソルブレインの忠清南道公州(コンジュ)工場は現在、完全稼働状態だ。日本の経済報復以降、サムスン電子などの顧客は追加で物量を要請したが、提供はできなかった。しかし政府が許認可手続きなどを大幅に緩和し、昨年着工した第2工場を来月にも早期完工することになった。パク副社長は「第2工場が稼働すれば、サムスン電子など顧客の不足分を十分に供給できるだろう」とし「第2工場で生産した製品の品質をどれほど迅速に安定化させるかが残された課題」と説明した。
     


한경:한국 기업 「순도 99.999%이상의 기체 훅화 수소 공급 가능」

한경:한국 기업 「순도 99.999%이상의 기체 훅화 수소 공급 가능」

2019년 08월 09일 11시 01분
중앙 일보
상대적으로 난도가 높은 가스 형태의 고순도 훅화 수소(에칭 가스)국산화할 수 있을 전망이다」.

솔 브레인의 박·욘스 중앙연구소장(부사장)은 8일, 「순도 99.999%이상의 고순도 훅화 수소도 공급 가능」이라고 해, 이와 같이 말했다.

박 부사장은 「가스 운반 및 보관에 필요한 용기를 확보하지 않으면 안 된다가, 큰 문제는 없다고 보고 있다」라고 이야기했다.일본이 한국에의 수출을 규제하고 있는 고순도 훅화 수소는, 반도체 공정으로 불순물을 제거하는 세정 작업과 회로를 남겨 그 다른 부분을 깎는 식각작업에 넓게 사용된다.

솔 브레인은 삼성 전자와 SK하이 닉스에 「액체」형태의 고순도 훅화 수소를 공급하고 있다.작년은 매상고 9634억원( 약 843억엔), 영업이익 1641억원이었다.매상고의 대략 반은 고순도 훅화 수소를 포함한 식각액으로 생긴다.액체 형태의 고순도 훅화 수소는 국산화가 있다 정도 진행되고 있지만, 기체 형태의 제품은 일본에의 의존도가 높다.

솔 브레인은 그 사이, 고순도 훅화 수소를 2원화해 생산해 왔다.전체 생산량의 약 70%는 일본의 스테라케미파로부터 고순도 훅화 수소를 수입한 후, 첨가제등을 혼합해 삼성 전자가 희망하는 조건에 맞는 제품을 제공한다.나머지의 30%정도는 중국으로부터 원재료(무수 훅화 수소)를 수입하고 순도를 높이는 정제 작업을 해 납품한다.

솔 브레인의 충청남도 공주(공주) 공장은 현재, 완전 가동 상태다.일본의 경제 보복 이후, 삼성 전자등의 고객은 추가로 물량을 요청했지만, 제공은 할 수 없었다.그러나 정부가 허인가 수속등을 큰폭으로 완화해, 작년 착공한 제2 공장을 다음 달에라도 조기 완공 하게 되었다.박 부사장은 「 제2 공장이 가동하면, 삼성 전자 등 고객의 부족분을 충분히 공급할 수 있을 것이다」라고 해 「 제2 공장에서 생산한 제품의 품질을 얼마나 신속히 안정화 시킬지가 남겨진 과제」라고 설명했다.


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