国民日報
半導体プロセスに使われる「超高純度フッ化水素」を作る技術が国内でもすでに8年前に開発されたことが確認された。
超高純度フッ化水素は、日本が韓国を狙って輸出規制措置を下した3つのコア素材の一つである。
技術の核心は、フッ化水素中の不純物の割合を100億分の1以上減らすことだ。サムスン電子、
SKハイニックスから輸入する日本産フッ化水素と匹敵する純度である。
しかし、この技術が光を見ることはなかった。技術開発に成功した中小企業は、販路がはっきりしていない状況で、
巨額を投じて生??産設備を構築することができなかった。取引する大企業が存在しない場合、
莫大な損失だけ抱えたからだ。ここに国内産業生態系の粗末な共生構造が素材・部品産業の
競争力の足を引っ張ったという批判が出ている。
22日、特許庁特許情報検索サービス（KIPRIS）によると、超高純度フッ化水素を製造する
国内技術が1件特許登録されている。中小企業A社が2011年7月に登録した技術である。A社は
半導体のエッチング（腐食加工）工程のフッ化水素の製造技術を実験的に証明した。
特許庁は審査後にこの技術に特許を付与し、2013年1月に公開した。
この技術は、半導体のエッチング処理に適した超高純度フッ化水素を得るために、
超音波バイブレーターを活用した。純度が低いフッ化水素中に混ざっている不純物を
除去するために、添加剤である過酸化水素などを入れて超音波処理をした。
6つの方法で実験した結果、特定の実験では、フッ化水素中の不純物の割合は、少なくとも10億分の1以上、
最大100億分の1以下まで下がった。半導体プロセスに使うことができる純度99 .999999999％以上のフッ化水素を
抽出したのだ。業界関係者は、「通常、100億分の1から1000億分の1程度の純度なら使うことができる」とし、
「この技術で精製すれば可能だろう」と説明した。
しかし、この技術は、事実上行き詰まった。生産を試みる前に、投資障壁が立ちはだかった。
超高純度フッ化水素を生産・販売する工場を建設することはもちろん、高価な分析機器なども
備えなければならない。移送過程での汚染を防ぐ特殊容器も必要である。これに必要なお金が少なくない。
特許を出願したA社のB代表は、「すべてが高価の装備」とし「数十億から100億ウォン以上もの設備投資費用がかかる」とした。
その上、不毛な産業の生態系が障害になった。超高純度フッ化水素を必要とする企業でも、
すぐに製品を使うことができない。半導体プロセスに適しているか6ヶ月?1年程度の試験が必要である。
資金余力が豊富な大企業はこの時間を待つことができ、たとえ失敗しても受ける衝撃が少ない。
一方、中小企業は、今後の販売が可能かどうか不明な製品への大規模な投資を決定するのは難しい。
A社の昨年の売上高は100億ウォンに及ばなかった。B代表は「大企業の立場では、すでに使用されている
日本産フッ化水素を使えばよく、あえて私たちの製品に変える理由がなかった」と述べた。
だからといって、政府が研究・開発（R＆D）のほか、施設投資を予算に組み込むのも容易ではない。
このような大規模な設備投資への負担のために頓挫した技術が一、二個ではないという。
B代表は「超高純度フッ化水素のほか、素材・部品分野で、このような事例がたくさんある」とし
「政府ができることか分からない」とした。元産業通商資源部の関係者は、「大企業が中小企業と
共存しようとしなかった根本的限界が日本の輸出規制という事態を招いたのではないかと思う」と批判した。
https://news.naver.com/main/ranking/read.nhn?mid=etc&sid1=111&rankingType=popular_day&oid=005&aid=0001220668&date=20190722&type=1&rankingSectionId=101&rankingSeq=10
じゃあそれでええやんｗ
국민 일보
반도체 프로세스에 사용되는 「초고순도 훅화 수소」를 만드는 기술이 국내에서도 벌써 8년전에 개발되었던 것이 확인되었다.
초고순도 훅화 수소는, 일본이 한국을 노려 수출규제 조치를 내린 3개의 코어 소재의 하나이다.
기술의 핵심은, 훅화 수소중의 불순물의 비율을 100억분의 1이상 줄이는 것이다.삼성 전자,
SK하이 닉스로부터 수입하는 일본산 훅화 수소와 필적하는 순도이다.
그러나, 이 기술이 빛을 볼 것은 없었다.기술개발에 성공한 중소기업은, 판로가 뚜렷하지 않는 상황으로,
거액을 투자해 생??출산 설비를 구축할 수 없었다.거래하는 대기업이 존재하지 않는 경우,
막대한 손실만 안았기 때문이다.여기에 국내산업 생태계의 허술한 공생 구조가 소재·부품 산업의
경쟁력의 방해를 했다고 하는 비판이 나와 있다.
22일, 특허청 특허 정보 검색 서비스(KIPRIS)에 의하면, 초고순도 훅화 수소를 제조한다
국내 기술이 1건 특허 등록되어 있다.중소기업 A사가 2011년 7월에 등록한 기술이다.A사는
반도체의 에칭(부식 가공) 공정의 훅화 수소의 제조 기술을 실험적으로 증명했다.
특허청은 심사 후에 이 기술에 특허를 부여해, 2013년 1월에 공개했다.
이 기술은, 반도체의 에칭 처리에 적절한 초고순도 훅화 수소를 얻기 위해서,
초음파 바이브레이터를 활용했다.순도가 낮은 훅화 수소중에 섞여 있는 불순물을
제거하기 위해서, 첨가제인 과산화 수소등을 넣어 초음파 처리를 했다.
6개의 방법으로 실험한 결과, 특정의 실험에서는, 훅화 수소중의 불순물의 비율은, 적어도 10억분의 1이상,
최대 100억분의 1 이하까지 내렸다.반도체 프로세스에 사용할 수 있는 순도 99 .999999999%이상의 훅화 수소를
추출했던 것이다.업계 관계자는, 「통상, 100억분의 1에서 1000억분의 1 정도의 순도라면 사용할 수 있다」라고 해,
「이 기술로 정제 하면 가능할 것이다」라고 설명했다.
그러나, 이 기술은, 사실상 막혔다.생산을 시도하기 전에, 투자 장벽이 가로막았다.
초고순도 훅화 수소를 생산·판매하는 공장을 건설하는 것은 물론, 고가의 분석 기기 등도
갖추지 않으면 안 된다.이송 과정으로의 오염을 막는 특수 용기도 필요하다.이것에 필요한 돈이 적지 않다.
특허를 출원한 A사의 B대표는, 「모든 것이 고가의 장비」라고 해 「수십억에서 100억원 이상의 설비 투자 비용이 든다」라고 했다.
게다가, 성과가 없는 산업의 생태계가 장해가 되었다.초고순도 훅화 수소를 필요로 하는 기업에서도,
빨리 제품을 사용할 수 없다.반도체 프로세스에 적절하고 있을까 6개월?1년 정도의 시험이 필요하다.
자금 여력이 풍부한 대기업은 이 시간을 기다릴 수 있어 비록 실패해도 받는 충격이 적다.
한편, 중소기업은, 향후의 판매가 가능할지 불명한 제품에의 대규모 투자를 결정하는 것은 어렵다.
A사의 작년의 매상고는 100억원에 이르지 않았다.B대표는 「대기업의 입장에서는, 벌써 사용되고 있다
일본산 훅화 수소를 사용하면 자주(잘), 굳이 우리의 제품으로 바꿀 이유가 없었다」라고 말했다.
그렇다고 해서, 정부가 연구·개발(R＆D)외, 시설 투자를 예산에 짜넣는 것도 용이하지 않다.
이러한 대규모 설비 투자에의 부담을 위해서 좌절한 기술이 1, 2개는 아니라고 한다.
B대표는 「초고순도 훅화 수소외, 소재·부품 분야에서, 이러한 사례가 많이 있다」라고 해
「정부가 생기는 것인가 모른다」라고 했다.원상교도리상자원부의 관계자는, 「대기업이 중소기업과
공존하려고 하지 않았던 근본적 한계가 일본의 수출규제라고 하는 사태를 부른 것은 아닐까 생각한다」라고 비판했다.
https://news.naver.com/main/ranking/read.nhn?mid=etc&sid1=111&rankingType=popular_day&oid=005&aid=0001220668&date=20190722&type=1&rankingSectionId=101&rankingSeq=10
자 그래서 예나 w