【知識】日本のフッ化水素は高純度 最も純度の高いものはトゥエルブナインと呼ばれる
フッ化水素は日本が主張しているように毒ガスの製造にも使われるが、実際には産業全般においてさまざまな用途に使われる一般的な化学物質だ。蛍石を硫酸で溶かして作るフッ化水素はほかの物質と結合しやすい。高級ガソリンを作る時に入れる触媒であり、フライパン・屋根材料・電線被覆・眼鏡レンズなどに使われるテフロン（合成樹脂）の材料でもある。岩石を溶かしてウランを抽出する時に使われることもあるし、エアコン・冷蔵庫の冷媒や洗濯用合成洗剤にも入っている。表面を滑らかにしたり、高級な質感を出したりするのにも使用される。だが、このようなフッ化水素は99.9％以下の低純度製品だ。こうした製品は韓国はもちろん、中国・台湾・インドでも作られている。一方、半導体製造工程用のフッ化水素は99.999％以上の超高純度製品で、サムスン電子やSKハイニックスなどに納品している日本のステラケミファや森田化学工業が世界市場を掌握している。
超高純度であることは製品不良率を下げるために不可欠な要素だ。半導体は10ナノメートル（?、1ナノメートルは10億分の1メートル）前後の超微細工程で作られる。純度が低く不純物が増えれば不良率も跳ね上がる。例えば、純度99.99％のフッ化水素内にある不純物は、純度99.999％のフッ化水素内にある不純物の10倍となる。ソウル大学材料工学部のファン・チョルソン教授は「肉眼では見えない不純物でも、10ナノ以下では致命的なダメージとなる」と話す。
純度の数字が1段階上がれば、製造の難易度は幾何級数的に上がる。コメ1万粒の中からアワ（粟）100粒を見つけ出す場合、90粒までは簡単に見つけられても、最後の1粒を見つけるのが難しいのと同じだ。西江大学化学科のイ・ドクファン教授は「高純度で精製する技術は、金をたくさん使ったからと言ってすぐに確保できるものではない。政府がこのほど出した国産化案を見ると、『へぼ祈とう師が人を殺す』（ということわざのような）羽目になりかねない」と言った。
ロシア製品、すぐに使うのは容易でない
半導体専門家らは、ロシア製フッ化水素を半導体製造工程に使えるかどうかについて判断できずにいる。韓国は最近6年間、ロシア製フッ化水素を輸入していない。ソウル大学化学生物工学部のソン・ヨンウン教授は「半導体製造工程で使用するには、大量の超高純度フッ化水素を安定した品質で供給できなければならないが、ロシア製はまだ何も証明されていない」と語った。
ロシア製の純度が十分に高くても、サムスン電子やSKハイニックスがこれを実際の製造工程で使うまでには、少なくとも数カ月以上必要だ。半導体の製造工程は700段階に分かれており、このうちフッ化水素が使われるのは40－50段階で、段階ごとに使われるフッ化水素の純度や形態はすべて異なる。既存の工程は日本製のフッ化水素に最適化されているので、ロシア製を使う場合は工程をあらためて組み直さなければならない。それに、ロシア製が日本製のように純度99.999％であっても、使えない可能性がある。不純物の純度が同じだけで、不純物の粒子の大きさや種類が確認できないからだ。半導体業界関係者は「新しい素材・装置が入ることになれば、少なくとも2カ月は試験生産をして品質をチェックし、品質が低下していたらさらに2カ月間、時間がかかるだろう」と話している。
【지식】일본의 훅화 수소는 고순도 가장 순도의 높은 것은 트에르브나인으로 불린다
훅화 수소는 일본이 주장하고 있도록(듯이) 독가스의 제조에도 사용되지만, 실제로는 산업 전반에 대해 다양한 용도에 사용되는 일반적인 화학물질이다.형석을 황산으로 녹여 만드는 훅화 수소는 다른 물질과 결합하기 쉽다.고급 가솔린을 만들 때에 넣는 촉매이며, 프라이팬·지붕 재료·전선 피복·안경 렌즈 등에 사용되는 테플론(합성 수지)의 재료이기도 하다.암석을 녹여 우라늄을 추출할 때에 사용되는 일도 있다 해,에어콘·냉장고의 냉매나 세탁용 합성세제에도 들어가 있다.표면을 매끄럽게 하거나 고급 질감을 내거나 하는데도 사용된다.하지만, 이러한 훅화 수소는 99.9%이하의 저순도 제품이다.이러한 제품은 한국은 물론, 중국·대만·인도에서도 만들어져 있다.한편, 반도체 제조 공정용의 훅화 수소는 99.999%이상의 초고순도 제품으로, 삼성 전자나 SK하이 닉스 등에 납품하고 있는 일본의 스테라케미파나 모리타화학공업이 세계 시장을 장악 하고 있다.
초고순도인 것은 제품 불량율을 내리기 위해서 불가결한 요소다.반도체는 10나노미터(?, 1나노미터는 10억분의 1미터) 전후의 초미세 공정으로 만들어진다.순도가 낮게 불순물이 증가하면 불량율도 튄다.예를 들면, 순도 99.99%의 훅화 수소내에 있는 불순물은, 순도 99.999%의 훅화 수소내에 있는 불순물의 10배가 된다.서울 대학 재료 공학부의 팬·쵸르손 교수는 「육안에서는 안보이는 불순물에서도, 10 나노 이하에서는 치명적인 데미지가 된다」라고 이야기한다.
순도의 숫자가 1 단계 오르면, 제조의 난이도는 기하급수적으로 오른다.쌀 1만립중에서 아와(조) 100알갱이를 찾아내는 경우, 90 알갱이까지는 간단하게 찾아낼 수 있어도, 마지막 1알갱이를 찾아내는 것이 어려운 것과 같다.서강대학 화학과의 이·드크판 교수는 「고순도로 정제 하는 기술은, 돈을 많이 사용했다고 빨리 확보할 수 있는 것은 아니다.정부가 이번에 낸 국산화안을 보면, 「기도사가 사람을 죽인다」(라고 하는 것 원 자리와 같은) 처지가 될 수도 있다」라고 했다.
러시아 제품, 빨리 사용하는 것은 용이하지 않다
러시아제의 순도가 충분히 높아도, 삼성 전자나 SK하이 닉스가 이것을 실제의 제조 공정으로 사용하기까지는, 적어도 수개월 이상 필요하다.반도체의 제조 공정은 700 단계로 나누어져 있어 이 중 훅화 수소가 사용되는 것은40-50단계에서, 단계 마다 사용되는 훅화 수소의 순도나 형태는 모두 다르다.기존의 공정은 일본제의 훅화 수소에 최적화되고 있으므로, 러시아제를 사용하는 경우는 공정을 다시 재차 짜지 않으면 안 된다.게다가,러시아제가 일본제와 같이 순도 99.999%여도, 사용할 수 없을 가능성이 있다.불순물의 순도가 같다로, 불순물의 입자의 크기나 종류를 확인할 수 없기 때문이다.반도체 업계 관계자는 「새로운 소재·장치가 들어가게 되면, 적어도 2개월은 시험 생산을 해 품질을 체크해, 품질이 저하되고 있으면 게다가 2개월간, 시간이 걸릴 것이다」라고 이야기하고 있다.