「日本の高純度フッ化水素なければサムスンのファウンドリーは危機」
7/8(月) 8:05配信
「ファウンドリーは顧客との信頼関係がカギだが、台湾ＴＳＭＣとの競争で確保した取引先を逃さないか心配だ」。
サムスン電子がソウル三成洞（サムソンドン）グランドパルナスホテルでファウンドリーフォーラムを開催した４日、ファウンドリー事業部の役員が最近の日本の先端素材３種（フッ化水素、レジスト、フッ化ポリイミド）輸出規制に関連して述べた言葉だ。ファウンドリーとは、工場（Ｆａｂ）がない半導体設計会社のファブレスから注文を受ける委託生産で、韓国政府が２０３０年までに世界１位という目標を掲げた非メモリー分野の一つの軸だ。
最近、ＩＢＭ・クアルコム・エヌビディアなど米国企業から相次いで受注を受けたサムスン電子としては受注物量の供給に支障が生じる状況を迎えた。日本経済産業省の輸出規制品目のうち「１－１５ナノ（ｎｍ）波長の光で使用するレジスト」には極端紫外線（ＥＵＶ）工程用のフォトレジスト（ＰＲ）が含まれるからだ。ＥＵＶは光の波長（１３ナノ）が従来のフッ化アルゴン（ＡｒＦ、１９３ナノ）の１４分の１程度にすぎず、さらに微細な線路を描くことができる。
９月にＥＵＶ専用ラインを完工させて来年１月からは７ナノ工程でチップを量産する計画のサムスン電子は危機に直面した。サムスン電子はファウンドリーだけでなくＤＲＡＭの生産にも品質向上のためにＥＵＶ用レジストを使用することにした。
１カ月間ほどの在庫が残っているフッ化水素（ＨＦ、エッチングガス）の場合、最近、安定的な取引先を確保するために台湾・中国に購買担当の役職員を派遣した。フッ化水素は半導体製造工程のうち回路基板のエッチング工程に使われる。台湾にある日本ステラケミファの工場からエッチングガスを受けることにしたが、これも日本政府の承認があってこそ最終的に安定した需給が可能だという。
サムスン電子やＳＫハイニックスは「スリーナイン（９９．９％）」「フォーナイン（９９．９９％）」級は確保できても、「ファイブナイン（９９．９９９％）」級の高純度フッ化水素はほとんど日本が供給する。１億分の１（ナノ）半導体工程では高純度のフッ化水素を使用してこそ収率（生産量に対する欠陥のない製品比率）が高まり、製品の品質も担保できる。低純度のフッ化水素はラインの稼働にも影響を及ぼしかねない。
ある半導体企業の役員は「３カ月分ほどの高純度フッ化水素を確保してこそ現在の状況から最悪に向かわない」と話した。日本政府の規制措置のため、３大先端素材の場合、最大９０日まで輸出が遅れることがあるからだ。昨年１１月にも日本はエッチングガス（高純度フッ化水素）の輸出を承認せず、２日後に許可したことがあった。サムスン電子は当時から日本内部の状況を感知し、危機管理プランを稼動させた。
日本政府が今後、先端素材規制品目を増やす方式で圧力の程度を高める可能性があるという分析も出ている。半導体の回線を描くのに使用される原材料のウェハーが次の輸出規制品目に挙がっている。世界ウェハー市場で日本のＳＵＭＣＯ・信越化学が全体の５３％を占め、韓国企業はＳＫシルトロン（９％）だけが主な供給企業だ。キウム証券のオアク・ユアク研究員は「台湾やドイツからも購買できるが、現在のタイトな需給状況を考えるとやや無理がある」と予想した。
半導体回路を刻むフィルムのブランクマスクも規制対象となる可能性がある。サムスン電子が準備する７ナノのＥＵＶ工程には日本ＨＯＹＡのブランクマスクが必須という。
https://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20190708-00000006-cnippou-kr
「일본의 고순도 훅화 수소 없으면 삼성의 파운드리는 위기」
7/8(월) 8:05전달
「파운드리는 고객과의 신뢰 관계가 열쇠이지만, 대만 TSMC와의 경쟁으로 확보한 거래처를 놓치지 않는가 걱정이다」.
삼성전자가 서울 삼성동(삼손돈) 그란드파르나스호텔로 파운드리포람을 개최한 4일, 파운드리 사업부의 임원이 최근의 일본의 첨단 소재 3종(훅화 수소, 레지스터, 훅화 폴리이미드)수출규제에 관련해 말한 말이다.파운드리란, 공장(Fab)이 없는 반도체 설계 회사의 파블레스로부터 주문을 받는 위탁 생산으로, 한국 정부가 2030년까지 세계 1위라고 하는 목표를 내건 비메모리 분야의 하나의 축이다.
최근, IBM·쿠아르콤·에누비디아 등 미국 기업으로부터 연달아 수주를 받은 삼성 전자로서는 수주 물량의 공급에 지장이 생기는 상황을 맞이했다.일본 경제 산업성의 수출규제 품목 중 「1-15 나노(nm) 파장의 빛으로 사용하는 레지스터」에는 극단 자외선(EUV) 공정용의 포토레지스트(photoresist)(PR)가 포함되기 때문이다.EUV는 빛의 파장(13 나노)이 종래의 훅화 아르곤(ArF, 193 나노)의 14분의 1 정도로 지나지 않고, 게다가 미세한 선로를 그릴 수 있다.
9월에 EUV 전용 라인을 완공 시켜 내년 1월부터는 7 나노 공정으로 팁을 양산할 계획의 삼성 전자는 위기에 직면했다.삼성 전자는 파운드리 뿐만이 아니라DRAM의 생산에도 품질 향상을 위해서 EUV용 레지스터를 사용하기로 했다.
1개월간 정도의 재고가 남아 있는 훅화 수소(HF,에칭 가스)의 경우, 최근, 안정적인 거래처를 확보하기 위해서 대만·중국에 구매 담당의 임직원을 파견했다.훅화 수소는 반도체 제조 공정 중 회로 기판의 에칭 공정에 사용된다.대만에 있는 일본 스테라케미파의 공장으로부터 에칭 가스를 받기로 했지만, 이것도 일본 정부의 승인이 있어야만 최종적으로 안정된 수급이 가능하다고 한다.
삼성 전자나 SK하이 닉스는 「쓰리 나인(99.9%)」 「포나인(99.99%)」급은 확보할 수 있어도, 「파이브나인(99.999%)」급의 고순도 훅화 수소는 거의 일본이 공급한다.1억분의 1(나노) 반도체 공정에서는 고순도의 훅화 수소를 사용해야만 수율(생산량에 대한 결함이 없는 제품 비율)이 높아져, 제품의 품질도 담보할 수 있다.저순도의 훅화 수소는 라인의 가동에도 영향을 미칠 수도 있다.
있다 반도체 기업의 임원은 「3개월분 정도의 고순도 훅화 수소를 확보해야만 현재의 상황으로부터 최악으로 향하지 않는다」라고 이야기했다.일본 정부의 규제 조치 때문에, 3대첨단 소재의 경우, 최대 90일까지 수출이 늦는 것이 있다부터다.작년 11월에도 일본은 에칭 가스(고순도 훅화 수소)의 수출을 승인하지 않고, 2일 후에 허가했던 적이 있었다.삼성 전자는 당시부터 일본 내부의 상황을 감지해, 위기 관리 플랜을 가동시켰다.
일본 정부가 향후, 첨단 소재 규제 품목을 늘리는 방식으로 압력의 정도를 높일 가능성이 있다라고 하는 분석도 나와 있다.반도체의 회선을 그리는데 사용되는 원재료의 wafer가 다음의 수출규제 품목에 오르고 있다.세계 wafer 시장에서 일본의 SUMCO· 신에츠 화학이 전체의 53%를 차지해 한국 기업은 SK시르트론(9%)만이 주된 공급 기업이다.키움 증권의 오아크·유아크 연구원은 「대만이나 독일로부터도 구매할 수 있지만, 현재의 타이트인 수급 상황을 생각하면 약간 무리가 있다」라고 예상했다.
반도체 회로를 새기는 필름의 블랭크 마스크도 규제 대상이 될 가능성이 있다.삼성 전자가 준비하는 7 나노의 EUV 공정에는 일본 HOYA의 블랭크 마스크가 필수라고 한다.
https://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20190708-00000006-cnippou-kr